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納米壓痕技術(shù)是測(cè)量納米機(jī)械屬性的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)

 更新時(shí)間:2021-11-16 點(diǎn)擊量:1467
   納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試,測(cè)試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
  納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量,可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性??蛇m用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護(hù)性薄膜,裝飾性薄膜等等?;w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等
  納米壓痕技術(shù)是測(cè)量納米機(jī)械屬性的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)。雖然準(zhǔn)靜態(tài)納米壓痕支持利用負(fù)載位移曲線表征應(yīng)力和應(yīng)變關(guān)系,但是它需要大量的測(cè)試才能深入了解材料的行為。動(dòng)態(tài)測(cè)試可以揭示材料剛度與深度的關(guān)系,允許復(fù)雜的分析。如果使用準(zhǔn)靜態(tài)試驗(yàn),這些分析需要成千上萬次的試驗(yàn)。
  納米壓痕儀利用電磁驅(qū)動(dòng)頭和解耦的電容位移計(jì)來分別測(cè)量力和位移。這提供廣泛的力和位移動(dòng)態(tài)范圍,可進(jìn)行從納米到毫米的變形分析。本設(shè)計(jì)具有杰出的控制能力,而這種控制能力對(duì)于完成薄膜、納米材料、MEMS和其它器件結(jié)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)是至關(guān)重要的。
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